... 硅反面刻蝕型、空氣隙型及固態(tài)裝配型(solidly mountedresonator,SMR) .其中前兩者均通過壓電薄膜上下的空氣界面來反射聲波,雖然這兩種結(jié)構(gòu)的器件Q值(品質(zhì)因數(shù))較高 ...
... (又稱固態(tài) 裝配型)薄膜體聲波諧振器(SMR-FBAR) [9-10] . 而我 國關(guān)于薄膜體聲波諧振器的研究才剛剛起步, 距離 世界先進水平還有很大差距. SMR-FBAR 作為薄膜體聲波 ...
這種類型的 BAW 被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。魯棒性 而言， SMR 比膜結(jié)構(gòu)的 BAW 要好很多。 在劃片和裝配所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中， 沒有機械損壞的風(fēng)險。
1 鄧玉芬;過明益;范德睿;;小型微帶發(fā)夾式諧振器濾波器及應(yīng)用ADS軟件的優(yōu)化設(shè)計[A];2001年全國微波毫米波會議論文集[C];2001年 2 鐘瑩;張國雄;;體硅微機械音叉式諧振器…
1 金浩;德苗;董樹榮;;一種基于AIN薄膜的射頻諧振器[A];中國真空學(xué)會第六屆全國會員代表大會暨學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2004年 2 湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態(tài)裝配 …
1 湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A];中國聲學(xué)學(xué)會2007年青年學(xué)術(shù)會議論文集（下）[C];2007年 2 張輝;張淑儀;;電極和基片對高次諧 …
DPSS激光器：單片裝配，機器組裝 二極管泵浦固態(tài)調(diào)Q激光器的諧振腔由反射鏡、二向色濾光片等多個分立的光學(xué)元件構(gòu)成。傳統(tǒng)上這些腔內(nèi)光學(xué)元件都被固定在可以通 …
中國學(xué)術(shù)期刊網(wǎng)絡(luò)出版總庫 [1] 劉罡;朱嘉琦;賽;陸曉欣;劉遠(yuǎn)鵬;霍施宇;袁欣薇;;固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展[J];無機材料學(xué)報;2010年12期
空氣隙型：這種FBAR 采用MEMS 表面微制造工藝在硅片的上表面形成一個空氣隙以 將聲波能限制在壓電諧振區(qū)內(nèi)。 固態(tài)裝配型：與前面兩種結(jié)構(gòu)不同，SMR 采用布拉格 …
美國相干公司開發(fā)了一種獨特的裝配機制，用于裝配DPSS激光器諧振腔中實現(xiàn)必須的性能和本錢特征的光學(xué) ... 按照PermAlign生產(chǎn)技術(shù)，二極管泵浦固態(tài)激光器諧振腔中 ...
固態(tài)裝配型諧振器 全固態(tài)調(diào)制器 固態(tài)脈沖調(diào)制器 可調(diào)固態(tài)激光器 固態(tài)紅外調(diào)制器 固態(tài)剛管調(diào)制器 ©2011 dictall.com ...
壓電振蕩堆三明治結(jié)構(gòu)直接生長到用 3~7 組的高/ 推出了具有布拉格反射層結(jié)構(gòu)的固貼式又稱固態(tài) 低聲阻抗膜層分別 ... 裝配型薄膜體聲波諧振器SMR-FBAR而我 圖 2是 ...
... 被反射，又由于這些層的厚度是/4，因而反射波會按合適的相位疊加。這種類型的BAW被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。魯棒性而言，SMR比膜結(jié)構(gòu)的BAW ...
您的位置：首頁 > 《中文科技期刊數(shù)據(jù)庫》 > 工程技術(shù) > 電子電信 > 微電子學(xué)/集成電路 > 摘要 基于薄膜體聲波諧振器的高靈敏度質(zhì)量傳感器 《固體電子學(xué)研究與進展 ...
1 鄧玉芬;過明益;范德睿;;小型微帶發(fā)夾式諧振器濾波器及應(yīng)用ADS軟件的優(yōu)化設(shè)計[A];2001年全國微波毫米波會議論文集[C];2001年 2 鐘瑩;張國雄;;體硅微機械音叉式諧振器…
這種類型的BAW被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。魯棒性而言，SMR比膜結(jié)構(gòu)的BAW要好很多。在劃片和裝配所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中，沒有機械損壞 ...
[A] 壓電諧振器 [A] 超導(dǎo)部件及其制造方法和介電諧振器 [A] 諧振轉(zhuǎn)換器及其間歇式工作模式的啟動方法 [A ...
文章提出了一種薄膜電阻加載的L型諧振器,設(shè)計了一種小尺寸的微帶均衡器子結(jié)構(gòu)電路,并對薄膜電阻的加載位置進行了研究。
... (又稱固態(tài) 裝配型)薄膜體聲波諧振器(SMR-FBAR) [9-10] . 而我 國關(guān)于薄膜體聲波諧振器的研究才剛剛起步, 距離 世界先進水平還有很大差距. SMR-FBAR 作為薄膜體聲波 ...
... 非常高的質(zhì)量靈敏度.提出了三對全金屬的A1-W層作為布拉格聲學(xué)反射層的FBAR,制備出了固態(tài)裝配型的FBAR ... 質(zhì)量傳感器 薄膜體聲波諧振器 靈敏度 固態(tài)裝配 …
... 硅反面刻蝕型、空氣隙型及固態(tài)裝配型(solidly mountedresonator,SMR) .其中前兩者均通過壓電薄膜上下的空氣界面來反射聲波,雖然這兩種結(jié)構(gòu)的器件Q值(品質(zhì)因數(shù))較高 ...
... 空氣一固體交界面；還有一種方式是采用“聲波鏡”形成反射面來實現(xiàn)，這種結(jié)構(gòu)被稱為“固態(tài)裝配諧振器(SMR)”。膜結(jié)構(gòu)因制作工藝的不同可分為兩種情形[5] ...
本書是一本關(guān)于微波固態(tài)電路分析與設(shè)計的專著。本書共分為15章，其主要特點是：廣泛覆蓋無源和有源射頻和微波電路設(shè)計技術(shù)；介紹了微波電路包括 ...
從這個角度出發(fā),FBAR的結(jié)構(gòu)類型分為懸空結(jié)構(gòu)型諧振器、空氣隙型諧振器和固態(tài)裝配型諧振器(SMR)[3-6]3種。前兩種結(jié)構(gòu)以空氣隔離,而SMR以布喇格反射層進行隔離。 …
1 驥;柳建松;杜建科;黃德進;;薄膜體聲波諧振器結(jié)構(gòu)與振動分析[A];第三屆全國壓電和聲波理論及器件技術(shù)研討會論文集[C];2008年 2 胡寬;顧豪爽;張凱;胡光;吳小鵬;熊 …
固態(tài)裝配諧振器 SMR 并采用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝制備了固態(tài)封裝型體聲波諧振器。用原子力顯微鏡(AFM).section of SMR resonator.The frequency response ...
空氣隙型：這種FBAR 采用MEMS 表面微制造工藝在硅片的上表面形成一個空氣隙以 將聲波能限制在壓電諧振區(qū)內(nèi)。 固態(tài)裝配型：與前面兩種結(jié)構(gòu)不同，SMR 采用布拉格 …
【摘要】：通過建立固態(tài)裝配諧振器(SMR)模型,考慮硅襯底的聲學(xué)損耗,從壓電理論出發(fā),仿真分析了不同布喇格層數(shù)對SMR的諧振性能的影響。仿真結(jié)果表明,由于布喇格層 …
1234 無 機 材 料 學(xué) 報 第25 卷 膜體聲波諧振器(FBAR)具有與超大規(guī)模集成電路 工藝兼容、頻率高、Q 值高、體積小、承受功率大、換能效率高等諸多優(yōu)點, 更加符合現(xiàn)代 ...
1 金浩;德苗;董樹榮;;一種基于AIN薄膜的射頻諧振器[A];中國真空學(xué)會第六屆全國會員代表大會暨學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2004年 2 湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態(tài)裝配 …
