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多晶硅石墨底座處理

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另外,在安裝硅芯時,一般在電極的頂端通過石墨底座來設置石墨卡瓣,進而固定硅芯。在石墨底座設置插槽,電極的頂端插設于插槽內(nèi)電極與石墨底座的這種連接方式,不能很好的實現(xiàn)電極與石硅芯在還原爐中是在石墨座上用卡瓣固定,在石墨底座下面是地盤,電極在內(nèi)部通過地盤和石墨底座連接硅芯。硅芯擊穿需要高壓,高壓系統(tǒng)也帶來了其他設備問題。嚴大洲和他的技術團隊當

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當氫氣中甲烷含量小于 2ppmv 時,多晶硅 碳含量主要受石墨底座、拆爐停爐過程的影響,石墨底座處理 程度不同,開爐初期石墨電極溫度升高將與氫氣反應生成少量 甲烷,隨著多晶硅沉32.該多晶硅還原爐用石墨夾頭的工作原理:使用時,將硅芯300穿過通口221和插槽130,使硅芯300插進插孔120內(nèi)部,然后旋轉(zhuǎn)螺紋套筒210,使螺紋套筒210帶動限位圓板220向石墨底座100移

1.一種多晶硅還原爐電極絕緣結構,其特征在于:包括底盤(1)、四氟套(2)、絕緣磁環(huán)(3)、絕緣磁環(huán)(4)、第三絕緣磁環(huán)(5)和銅電極(6),所述銅電極(6)的外圓與四氟套(2)套裝,的方面,提供一種高純多晶硅硅芯連接結構,包括石墨底座、石墨帽、底裝硅芯和上裝硅芯,所述石墨底座上設置有石墨帽,所述石墨帽內(nèi)貫穿安裝所述底裝硅芯,所述底裝硅芯的上部設置有

多晶硅鑄錠爐直拉式單晶硅及加熱器的熱場 在Czochralski單晶硅的熱場中,約有坩堝、加熱器、電極、隔熱掩蔽板、種子夾持器、旋轉(zhuǎn)坩堝底座、各種圓形板、熱反射同時,在高溫化學氣相沉積反應中,夾持硅芯的石墨卡瓣碳質(zhì)成分還會沿硅棒擴散到遠離硅棒底部的位置,如此會增加硅棒底端多晶硅中碳質(zhì)成分的含量,并且硅碳高溫條件下結合緊密,不易分離

年產(chǎn)x xx 噸石墨件項目申報材料MACRO 泓域咨詢 年產(chǎn) x xx 噸石墨件項目申報材料 石墨是有機成因的碳質(zhì)物變質(zhì)而成,常見于大理巖、片巖或片麻巖中。煤層可經(jīng)熱變質(zhì)作用部 石墨烯并介紹了等靜壓石墨在單晶硅多晶硅、原子能工業(yè)、放電加工、金屬連鑄等領域的用途。分析了等靜壓石墨的國內(nèi)市場情況。關鍵詞:等靜壓石墨生產(chǎn)工藝市場分

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